薄膜技术

薄膜的物理性质在诸如相变材料、光盘介质、热电材料、发光二极管(LEDs)、燃料电池、相变存储器、平板显示器和半导体行业等领域和应用中变得越来越重要。


所有这些行业都使用单层或多层设置,以便赋予设备特定的功能。由于薄膜的物理性质与块状材料有很大的不同,因此有必要使用匹配的表征设备来获得其与厚度和温度相关的性质。由于高纵横比和沉积技术,会发生额外的边界和表面散射,导致输运性能降低。


由于测量要求可能与散装物料的不同,因此需要使用不同的计量方法。

薄膜材料的热导率和电导率通常比其块状材料的热导率和电导率小,有时甚至小得惊人。例如,
  • 在室温下,20nm的Si薄膜或纳米丝的热导率可能比其块状单晶小5倍。
  • 对于100nm的Au,可以证明,输运性质几乎减少了一半。
  • 一般来说,输运性质不仅与温度有关,还与厚度密切相关。

这种热导率的降低通常有两个基本原因。首先,与块状单晶相比,许多薄膜合成技术导致更多的杂质、无序和晶界,这些都倾向于降低热导率。其次,由于边界散射、声子泄漏和相关的相互作用,即使是原子完美的薄膜也会降低热导率。这两种基本机制通常对面内和面间输运的影响不同,因此薄膜的导热性通常是各向异性的,即使对于具有各向同性热导率的块状材料也是如此。

应用 - 薄膜技术
半导体(Bi87Sb13)热电性质的测量
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热电薄膜(金属/合金)热电性能的测量
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CVD金刚石热导率的测量
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热电材料用于热电发电机,通过温度梯度将热能转化为电能。使用热电优值(ZT)来表征热电材料的性能。为了计算热电优值,必须知道热导率、电导率和塞贝克系数。与相同成分的块状材料相比,薄膜具有较低的热导率,而电导率和塞贝克系数受影响较小,因此ZT值较高。


具有不同化学组成的锑化铋是众所周知的半导体热电材料。采用热气相沉积法制备厚度为142 nm的Bi87Sb13纳米层,在120 ~ 400 K的温度范围内测量其热导率、电导率和Seebeck系数。根据这些参数计算ZT值,室温(20℃)下ZT的最大值为0.16。


相关测量设备

热电材料用于热电发电机,通过温度梯度将热能转化为电能。使用热电优值(ZT)来表征热电材料的性能。为了计算热电优值,必须知道热导率、电导率和塞贝克系数。与相应的块状材料相比,金属薄膜具有较低的热导率,而电导率和塞贝克系数受影响较小,因此ZT值较高。金属薄膜在工业上具有广泛的应用,例如用于集成电路的制造。


采用直流磁控溅射法制备了厚度为100 nm的金(Au)纳米层,在225 ~ 375 K的温度范围内测量其热导率、电导率和塞贝克系数,由这些参数计算得到ZT值。测得该薄膜的导热性和导电性约为块状材料的一半。结果表明了经典尺寸效应的明显影响,并得到了验证,与Wiedemann-Franz定律完全一致。


相关测量设备

前言

钻石以其优异的导热性能而闻名。CVD(化学气相沉积)金刚石样品通常达到1000至2200 W/mK之间的热导率,稀有和高纯度样品甚至高达3320 W/mK。这种特性使金刚石成为高性能电子、激光系统和其他需要高效热管理的应用的理想散热材料。准确测量金刚石样品的热导率对于优化材料质量和了解其在苛刻热环境中的性能至关重要。


为什么钻石具有如此高的导热性和热扩散率?


金刚石的导热性源于其独特的原子结构和性质:

1、强共价键:三维四面体结构,其中每个碳原子与周围四个碳原子形成共价键,构成一个正四面体,有效地传递热量。

2、低原子质量:碳原子相对较轻,因此它们可以快速振动,这有助于通过晶格振动快速传递热量,也称为声子,它可以快速地传递热量。

3、高声子速度:由于声子的刚性和强大的原子间作用力,声子的速度很高,这使得热能在晶格中传播得更快。

4、高德拜温度:即使在高温下,金刚石的结构也能支持高频振动,从而保持导热性。

5、低声子散射:对称的晶体结构使散射最小化,因此声子可以长距离传播而不损失能量。

6、同位素纯度:金刚石的均匀原子质量进一步减少了散射,并改善了声子的传播。


这些因素使金刚石成为需要高导热性材料的应用的理想选择,例如电子设备和高功率激光系统的冷却。


具有高导热性的金刚石样品可以使用Linseis TF-LFA进行分析,该分析仪使用频域热反射技术来表征材料的热性能,并确保在高效散热至关重要的应用中进行质量控制。由于晶粒尺寸、纯度和厚度等因素都会影响传输性能,因此准确的热导率测量对于验证金刚石样品的质量和性能至关重要。


频域热反射法(FDTR)是测量CVD金刚石等材料热导率的首选方法,尤其是在薄膜和微尺寸样品中,高空间分辨率是必不可少的。Linseis TF-LFA是实现这一目的的理想工具。


FDTR使用调制激光在样品中诱导局部加热,并测量材料在不同调制频率下的热反射响应。这项技术允许研究人员通过模拟金刚石及其界面的热流来确定其热导率。


来源:
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