半导体与电子材料

随着科学技术的不断进步,热管理在各个领域的需求变得越来越重要。电子设备的性能不断地提高,,其发热量也越来越大,这也意味着它们产生更多的废热,通过有效地管理电子设备产生的热量对于创造市场上最安全和最高效的电子产品至关重要。如果没有适当的热管理,电子设备的性能会降低,寿命会缩短,能效也会降低。


这就是为什么电子产品的热分析如此重要的原因——它能够帮助设计人员找到最佳的散热方法,确保电子设备的性能和效率。通过提供更有效的散热技术,制造商不仅能够显著提高系统的处理能力,还能使设计更加紧凑和高效,满足用户对高性能和便携性的需求。Linseis提供导热解决方案,使电子产品的热分析能够帮助设计师和制造商改进他们的产品,有效提升电子产品的性能和可靠性。


半导体诸如硅(Si)、锗(Ge)、砷化镓(GaAs)或硫化镉(CdS),已成为电气工程中不可缺少的材料。它们不仅构成了计算机、显示器和智能手机等电子设备的基础,而且在发光方面也变得越来越重要。

基于这些不同材料和复杂制造工艺的半导体材料和电子元件很难进行分析和表征。现代热分析测量技术提供了新思路,可为以下问题提供答案:
  • 硅芯片在什么情况下会破裂?
  • 电子元件的导热系数是多少?
  • 热传感器在非常高的温度下表现出什么行为?
  • 粘合剂系统是否足够硬化?
  • 组件的热路径是否显示出弱点?

半导体元件在使用过程中的热行为可以通过热分析测量方法来确定,也可以通过工艺步骤的效率来确定,包括层结构和粘合性能。也可以实现对注入剖面(如硅中的硼)或洁净室空气(如有机成分)的控制。


无论您的任务是产品开发、质量控制、过程优化还是损坏分析,LINSEIS都可以为您提供合适的产品。热分析方法有无数的应用领域,如差示扫描量热法(DSC)、热重分析法(TGA)或热(TCA)和电输运(HCS)测量,使用激光闪光(LFA)技术或我们成熟的LSR平台。LINSEIS在产品能力方面处于领先地位。

应用 - 半导体与电子材料
相变材料热导率的测定
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康铜样品塞贝克系数的测定
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碲化铋(Bi2Te3)ZT值的直接测量
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无机物/半导体霍尔系数的测定
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热电薄膜(金属/合金)热电性能的测量
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相变材料(PCM),也称为潜热储存材料,它在一定的相变温度下将其物质状态从典型的固体变为液体,反之亦然。相变材料在熔化或凝固过程中可以储存或释放大量的能量,因此,它可以用于冷却或加热应用,最常见的应用是冷敷袋和热敷袋。除此之外,相变材料还广泛应用于餐饮、建筑、汽车或服装等行业。水或醋酸钠是众所周知的PCM,后者可用于上述的加热垫。


下图所示的例子是两种水合盐的热导率测试结果。在室温下,两种PCMs均为液体。将液体样品装入烧杯中,烧杯被置于回火液浴中。为了测量,将传感器(THB/B/Metal)悬挂在液体样品中,测量的温度梯度为-20°C,-10°C, 0°C, +10°C, 20°C(室温)和+30°C,因此测量是从材料的固态开始的。在每个温度水平下记录三个测量点并取平均值。


试样A的热导率随着升温至0℃略有增加,而试样B的热导率略有下降。在0 ~ 10℃的温度范围内,两种样品都从固态变为液态,这也可以从热导率的下降中清楚地看到。随着温度的继续升高,两种样品的热导率均略有增大。总的来说,样品B比样品A表现出更高的热导率。


相关测量设备

碲化铋是唯一的NIST认证的塞贝克系数参考材料。但它只能在120°C的最高温度下使用。康铜的使用温度可以高达800°C,因此可用作高温校准材料。通过计算斜率的方法,在每个温度测量点使用不同的温度梯度,并从所得直线的斜率计算塞贝克系数,可提高测量准确度。


在-143°C至172°C(130 K至445 K)的温度范围内测量康铜参考样品的塞贝克系数,使用斜率方法(见插图)来测量每个温度点的塞贝克系数。在每个温度下,对样品施加多个温度梯度,并从所得直线的斜率来计算塞贝克系数。结果可以用相对塞贝克系数或绝对塞贝克系数对Pt作图。


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热电优值(ZT)是用于表征热电材料热电性能的重要参数。通常ZT是由热导率、电导率以及塞贝克系数计算出来的,这三个参数是分别测量的,每次测量都具有一定的误差。哈曼法允许仅在一次测量中直接测量ZT:在热电材料上施加电流,由于珀尔贴效应,在样品中产生温度梯度,通过测量热电压和欧姆降,来计算热电优值ZT。


使用Harman法结合LINSEIS LSR测量系统,分析了NIST (SRM 3451)™ 碲化铋(Bi2Te3)参考物质。测量结果清楚地显示了在单个温度测量点的典型电压分布。在这种情况下,通过设置欧姆压降和热电压降的关系,可以简单地计算出室温下的热电优值ZT,在室温下ZT值为0.50。


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热电材料和微电子学是现代工业中一个广泛的研究领域。与此同时,计算机芯片、电子电路板和处理器的小型化已经达到纳米级,与此同时,热管理变得越来越重要。由于热和磁场对大多数材料都有影响,因此确定其影响和热电行为具有重要意义。


该图显示了一种厚度为150 nm的锑(Sb)薄膜样品在室温至180℃的范围内霍尔系数、迁移率和电阻率的测量。它广泛应用于热电材料领域(以合金的形式,例如Bi1−xSbx),并在新兴微电子领域中也有广泛应用‌。然而,金属锑的最大应用是铅酸电池中的铅锑板。蓝色曲线表示电阻率随着温度的升高而增加,对金属样品而言是正常的。橙色的曲线表示载流子的迁移率,其随着电阻率的增加而减小。绿色曲线表示霍尔系数,它描述了载流子对外部磁影响的灵敏度。


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热电材料用于热电发电机,通过温度梯度将热能转化为电能。使用热电优值(ZT)来表征热电材料的性能。为了计算热电优值,必须知道热导率、电导率和塞贝克系数。与相应的块状材料相比,金属薄膜具有较低的热导率,而电导率和塞贝克系数受影响较小,因此ZT值较高。金属薄膜在工业上具有广泛的应用,例如用于集成电路的制造。


采用直流磁控溅射法制备了厚度为100 nm的金(Au)纳米层,在225 ~ 375 K的温度范围内测量其热导率、电导率和塞贝克系数,由这些参数计算得到ZT值。测得该薄膜的导热性和导电性约为块状材料的一半。结果表明了经典尺寸效应的明显影响,并得到了验证,与Wiedemann-Franz定律完全一致。


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