无论您是想要在超高真空、大气环境还是高压条件下开展工作,林赛斯 L40 气体定量添加系统都能为您的需求提供完美的独立式气体控制系统。该系统还可选择使用腐蚀性气体,并且能够使气体环境达到特定的湿度要求。
林赛斯 EGA 系列提供了一套完整的解决方案,其具备高质量、全电子控制的混合、计量以及分析组件,能够实现极为精确的气体混合。只有在这些可重复的条件下,才能进行高质量的测量。哪怕是极其细微的偏差,都可能会对周围的气体环境产生不良影响,进而对测量结果造成巨大的影响。
L40 / 205 * 系列是一款价格实惠的入门级版本,最多可混合 4 种气体。通过使用电磁阀,能够自动开启和关闭气体。气体流速由高精度的手动转子流量计控制。
类型 | L40/2052 | L40/2053 | L40/2054 | ||
气体管道数量 | 2 | 3 | 4 | ||
压力级别 | 最高 1 bar | 最高 1 bar | 最高 1 bar | ||
定量添加机制 | 电磁阀 | 电磁阀 | 电磁阀 |
L40 / 205* / HP50 系列提供了全电子化的气体流量控制。为要求苛刻的客户提供便捷的操作和控制环境。在最高 50 bar 的压力下,它能够控制最多 4 种气体。高品质的质量流量控制器(MFC)技术确保了在配制气体混合物时具备最高水平的灵活性和精度。
类型: | L40/2052/HP50 | L40/2053/HP50 | L40/2054/HP50 | ||
气体管道数量 | 2+1 (用于压力控制) | 3+1 (用于压力控制) | 4+1 (用于压力控制) | ||
压力级别 | 最高 50 bar | 最高 50 bar | 最高 50 bar | ||
定量添加机制 | 质量流量控制器(MFC) | 质量流量控制器(MFC) | 质量流量控制器(MFC) |
L40 / 205 / HP150 系列旨在满足气体定量添加系统的最高标准。在这款高端版本中,当压力最高达到 150 bar 时,能够提供最大程度的灵活性和精度。由于采用不锈钢材质,它也适用于大多数腐蚀性气体。
类型 | L40/2052/HP150 | L40/2053/HP150 | L40/2054/HP150 | ||
气体管道数量 | 2+1 (用于压力控制) | 3+1 (用于压力控制) | 4+1 (用于压力控制) | ||
压力级别 | 最高 150 bar | 最高 150 bar | 最高 150 bar | ||
定量添加机制 | 质量流量控制器(MFC) | 质量流量控制器(MFC) | 质量流量控制器(MFC) |
所有的气体定量计量单元都可以通过添加直观的触摸屏显示器进行扩展升级。用户能够直接控制所有的流程和工艺参数。气体定量计量装置可以通过内联网或互联网进行便捷操作,在使用有害物质等情况下,这带来了高度的操作舒适性和安全性。
气体定量计量单元可以增加自动排空和压力控制功能进行升级,这不仅能大幅提升气体氛围的成分控制能力(因为可以先将反应室或测量室内的气体排空),还能使其应用于真空系统中。
此外,还可以选择连接蒸发器系统,以便在湿度气体环境下运行。微量定量系统能让蒸发器确保精确的气体加湿,并准确调节湿度含量。